电解液泄漏测试系统
详情介绍
1，本系统包含样品室系统、真空系统、质谱系统三大部分。
2，设备上电后，所有真空泵全部启动运行，质谱室真空度降低至小于 1e-6mbar 后，开启质谱仪测量程序。
3，放置电芯入测试腔体，通过进气口的真空规管探测样品腔体内的压力，当压力达到设定压力后开启检测阀门；
4，而后工艺腔体内的气体被牵引至质谱入口，质谱入口有二级减压系统可将工艺腔体内的压力衰减至 1e-3pa 内；
5，然后质谱分析工艺腔体内过来的气体的成分，由分析软件完成分析工作并记录测试结果，并上传测量结果至客户远程端。
系统运行原理图
